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UHP氣體管道材料介紹（轉自半導體技術天地）
原文來自于材料供應商
A 超純,潔凈管道系統
20 多年前,半導體,集成電路,生物制藥行業輸送純凈介質(氣體)的管路采用的管道還是普通的不銹鋼管道,雖然管道的材料和安裝成本較低,但良率(合格率)卻很低。更嚴重的問題是:隨著芯片集成度的提高,線寬的越來越小,對傳輸氣體和介質的管路提出更高的要求,管路的質量成了制約芯片產量和集成度提高的瓶頸。通過對管道系統的改進，芯片集成度，產量有了很大的提高，高科技產業在這幾年有了飛速發展。
B 超純,潔凈管道系統的真正含義
半導體,集成電路,生物制約行業輸送純凈介質(氣體)的高純管路是一種綜合考慮組織安定性,耐蝕性,加工性的優化不銹鋼管。要確保系統中立,我們要強調表面粗糙度Ra 值和自身的潔凈,使顆粒發生和堆積滯留得到抑止。為了確保可焊接性及焊接質量,要求保證尺寸公差,母材的化學成分。這樣才能確保在焊接時降低煙氣的發生,顆粒的產生及提高焊接部位的耐蝕性和平滑性。總而言之, 高純管路既要有漂亮的外表 (外在的純凈), 又要有貨真價實的材質 (內在的純凈)。
1、外在的純凈,有別于傳統不銹鋼管道內外表面灰蒙蒙,凹凸不平的感覺,現在的超純,潔凈管道锃亮的外表,同時也有較好的內表面粗糙度, 以確保管道系統對傳輸的介質保持中立以及保證吹掃及清洗性能, 現在工程師及技術人員常常提及的表面粗糙度Ra 值就是對管道系統內表面粗糙度的基本要求。為了確保自動軌道焊接的質量和效率,尺寸公差當然也是基本的要求。
2、內在的純凈指純凈的材質:真正意義上的超純, 潔凈管道漂亮的內外表面是遠遠不夠的,對管道系統的材質也有非常苛刻嚴格的要求,無論對化學成分和機械性能都有定義。
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